ИНМЭ РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение наукиИнститут нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
Уникальная научная установка «КУТГИ»
Приказ ИНМЭ РАН № 31/1-об от 24.10.2019г.
О создании уникальной научной установки (УНУ)
Положение об уникальной научной установки
Регламент доступа к оборудованию уникальной научной установки
Наименование: Комплекс оборудования для исследования технологий гетерогенной интеграции и кремний-углеродных нанотехнологий;
Руководитель: Александр Александрович Павлов
Год создания: 2019
Направления исследований: Индустрия наносистем
Максимальное совокупное время работы оборудования входящего в УНУ КУТГИ составляет 47790 часов в год.
