Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (ИНМЭ РАН) занимается фундаментальными научными исследованиями в области нанотехнологий применительно к микроэлектронике и на основе микроэлектроники.
Институт образован 27 июня 2006 года.
Первоначально, на период формирования и развития директором организатором являлся академик Юрий Васильевич Гуляев. С декабря 2009 года директором института избран Сауров Александр Николаевич, академик РАН. являющийся директором по настоящее время.
Основными задачами института являются:- выполнение поисковых работ в области микро- и наноэлектроники и создание актуальных технологических решений для прикладного применения:
- выработка аналитической, методологической и прогнозной информации для Российской академии наук и Министерства науки и высшего образования Российской Федерации на основе комплексного научного анализа эволюции нанотехнологий применительно к микроэлектронике;
- исследования и разработки в области микроэлектроники. Разработка процессов для создания микросхем, обучение и стажировка.
- получение прибыли за счет широких возможностей и профессиональной компетенции за счет выполнения услуг в области анализа и разработки технологий микроэлектроники.
Прикладные исследования:
- исследования и разработки в области КМОП логических интегральных схем с встроенным масочно-программируемым ЗУ, КМОП интегральных схем. интегрированных с МЭМС/НЭМС на основе структурированных материалов, предназначенных для использования в медицине, автомобилестроении, научных учреждениях и промышленности;
- обучение и экспериментальные технологические разработки на базе собственных лабораторий обработки 100 мм и 300 мм пластин.
Базовый научный подход основан на принципах гетерогенной интеграции - расширении традиционного технологического процесса путем добавления специфических шагов для создания микроприборов с нано-ядром и расширения функций кристалла. Основной вектор исследований и внедрения разработок: кремниево-углеродная электроника, МЭМС и НЭМС, интеллектуальные сенсоры, биочипы, имплантируемые медицинские микроприборы.
