О создании уникальной научной установки

В соответствии с приказом от 24 октября 2019 г. № 39/1-об на базе ИНМЭ РАН создана уникальная научная установка «Комплекс оборудования для исследования технологий гетерогенной интеграции и кремний-углеродных нанотехнологий» (Регистрационный номер — 674043).

Ключевыми элементами комплекса являются три литографические установки – электронная литография Raith e_LiNE plus 100, система оптической литографии на 300 мм пластинах ASML TWINSCAN XT:400K и лазерный генератор изображения Heidelberg DWL2000. Формирование сложных интегральных и объемных структур на подложках различного типа обеспечивается комплексом технологического оборудования, включающего установки сухого и жидкостного травления, низкотемпературного осаждения слоев различной морфологии и стехиометрии с полностью управляемыми характеристиками и толщинами от нескольких нанометров до десятков микрон. Синтез наноструктурированных материалов обеспечивается установкой на базе реактора Oxford Instruments PlasmaLab100. Исследование характеристик получаемых материалов и структур осуществляется с использованием уникального подкомплекса аналитического оборудования, обеспечивающего решение как материаловедческих задач, так и исследование электрофизических и СВЧ характеристик различных элементов. В его состав входят такие приборы как: ОЖЭ-микроанализатор JAMP-9510F, двухлучевая система микроскопической инспекции FEI Helios G4, FRT MicroProf 300 TTV MFE для измерения топографических характеристик и параметров тонких плёнок, просвечивающий электронный микроскоп JEOL JEM-2100 Plus, стилусный профилометр KLA-Tencor P-17 и многие другие приборы, реализующие контактные и бесконтактные методики исследования.