ИНМЭ РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение наукиИнститут нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
19.01.2017
Возврат к списку
Возврат к списку
Линия металлизации СБИС на пластинах 300 мм
Возврат к списку
В ИНМЭ РАН для выполнения исследований в области гетерогенной интеграции разработана, укомплектована и запущена в эксплуатацию экспериментальная линия металлизации СБИС на пластинах 300 мм.
Возврат к списку
