Яндекс.Метрика

Исследование технологии плазменного наноструктурирования кремния для формирования высокоэффективных эмиссионных структур


01.12.2014

В.А. Галперин, Е.П. Кицюк, А.А. Павлов, А.А. Шаманаев // Исследование технологии плазменного наноструктурирования кремния для формирования высокоэффективных эмиссионных структур // Известия вузов. Электроника. №4(108) 2014. – С.36-41.