ИНМЭ РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение наукиИнститут нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
Исследование технологии плазменного наноструктурирования кремния для формирования высокоэффективных эмиссионных структур
01.12.2014
В.А. Галперин, Е.П. Кицюк, А.А. Павлов, А.А. Шаманаев // Исследование технологии плазменного наноструктурирования кремния для формирования высокоэффективных эмиссионных структур // Известия вузов. Электроника. №4(108) 2014. – С.36-41.
Возврат к списку
