Электрические свойства гидрогенизированного аморфного кремния легированного литием

Е.В. Зенова, А.Д. Мехтиев, А.И. Попов, А.М. Тагаченков. Электрические свойства гидрогенизированного аморфного кремния легированного литием// Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах (метрология, диагностика, технология, учебный процесс): Материалы докладов научно-методического семинара (Москва 27-28 ноября 2012 г.) М: МНТОРЭС им. А.С. Попова, НИУ «МЭИ», 2013, 266с., стр. 181-1185.