Исследование технологических особенностей формирования токопроводящих каналов на основе УНТ

«Исследование технологических особенностей формирования токопроводящих каналов на основе УНТ».

Галперин В.А., Кондратьев П.К., Зубов Д.Н., Кельм Е.А., Павлов А.А.

Сборник докладов 3-ей международной научно-технической Конференции «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике», Зеленоград, 28-29 ноября 2012 г.