Методика подготовки субмикронных интегральных устройств для проведения анализа и диагностики

Е.В. Зенова, Ю.В. Ануфриев, Н.А. Иванова, С.В. Пищанский.

Труды Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по направлению “Диагностика наноматериалов и наноструктур”: сборник. Рязань: РГРТУ, 2011. Том III. 256 с. (с.7-11)