Яндекс.Метрика

Методика подготовки субмикронных интегральных устройств для проведения анализа и диагностики


01.12.2011

Е.В. Зенова, Ю.В. Ануфриев, Н.А. Иванова, С.В. Пищанский. Методика подготовки субмикронных интегральных устройств для проведения анализа и диагностики// Труды Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по направлению “Диагностика наноматериалов и наноструктур”: сборник. Рязань: РГРТУ, 2011. Том III. 256 с. (с.7-11)