Применение Dual-beam технологии для создания прототипа матрицы энергонезависимой памяти на фазовых переходах

Ануфриев Ю.В., Зенова Е.В., Кондратьев П.К., Балашов Д.С., Сальников С.М.

Сборник трудов 4-ой Всероссийской научно-технической конференции «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем» (МЭС-2010), Москва, 2010.