Определение толщин ультратонких поверхностных пленок в наноструктурах по энергетическим спектрам отраженных электронов

С.Ю. Купреенко, Н.А. Орликовский, Э.И. Рау, А.М. Тагаченков, А.А. Татаринцев

Журнал технической физики, 2015, том 85, вып. 10, стр. 101-104.