Электрохимическое восстановление поврежденных контактных площадок кристаллов при анализе отказов современных интегральных схем

Зубов Д.Н., Кельм Е.А., Молодцова Г.В., Милованов Р.А. Электрохимическое восстановление поврежденных контактных площадок кристаллов при анализе отказов современных интегральных схем // Нано- и микросистемная техника. 2014. №5(166). С. 38-40.