Яндекс.Метрика

Селективное травление меди в технологии анализа отказов ИМС с проводниками на основе меди


02.12.2013

Милованов Р.А., Кельм Е.А., Косичкин О.А, Ляпунов Н.А. Селективное травление меди в технологии анализа отказов ИМС с проводниками на основе меди // Журнал Нано- и микросистемная техника. 2013. №11(160). С. 30-32.