Яндекс.Метрика

Ионно-лучевое травление как промежуточная стадия при удалении пассивирующих слоев микросхем в рамках технологии анализа отказов


02.12.2013

Абдуллаев Д.А., Зайцев А.А., Кельм Е.А., Милованов Р.А. Ионно-лучевое травление как промежуточная стадия при удалении пассивирующих слоев микросхем в рамках технологии анализа отказов // Нано- и микросистемная техника. 2013. №11(160). С. 35-39.