ИНМЭ РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
Об институте
Исследования и разработки
Установка КУТГИ
Национальные проекты
Новости
Противодействие коррупции
Контакты
На главную
Об институте
Публикации
Об институте
Руководство
Учёный совет
Публикации
Нормативные документы
Исследования логического состояния интегральных микросхем методами атомной силовой микроскопии
01.12.2010
А.М. Тагаченков
ВМУ Серия 3, ФИЗИКА. Астрономия, 2010, № 3, стр. 59-61.
Возврат к списку