ДИАГНОСТИКА ТЕХНОЛОГИИ ОКСИДОВ ТИТАНА И ГАФНИЯ МЕТОДАМИ ЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ

Булярский С.В., Гусаров Г.Г., Дудин А.А., Коива Д.А., Литвинова К.И

Оптика и спектроскопия. 2023. Т. 131.  № 1. С. 25-29.

Показана роль вакансий кислорода в формировании полос люминесценции оксидов титана и гафния, а также продемонстрирована связь интенсивности полос люминесценции с условиями синтеза пленок этих материалов. Сделан вывод, что фотолюминесценция является очень чувствительным методом диагностики состава оксидов. Полосы люминеценции 2.45 eV в оксиде титана и 2.91 eV в оксиде гафния позволяют анализировать изменение состава пленок при различных технологических условиях их получения.