Шибалов М.В., Порохов Н.В., Мумляков А.М., Трофимов И.В., Дюдьбин Г.Д., Тимофеева Е.Р., Тагаченков А.М., Ануфриев Ю.В., Зенова Е.В., Тархов М.А.

ИССЛЕДОВАНИЕ УЛЬТРАТОНКИХ СВЕРХПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК НИТРИДА НИОБИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ

Журнал технической физики. 2021. Т. 91. № 4. С. 672-677.