24.01.2011
Наноколодцы и новый метод литографии
Несмотря на значительный успех исследователей в области получения различных наноструктур, существенным недостатком существующих методов является их сложность и трудоемкость. В частности, для рентгеновской и электронной литографии необходима «чистая комната», а для таких многостадийных процессов, как мягкая, наносферная или imprint литография необходимо применение сложных многостадийных процессов. Поэтому новый метод литографии, предложенный коллективом американских исследователей, который не требует применения масок и «чистых комнат», безсуловно заслуживает пристального внимания.