INME RAS
Institute of Nanotechnology of Microelectronics of the Russian Academy of Sciences 
Современные и перспективные ионные источники для систем с фокусированным ионным пучком
01.12.2015
Милованов Р.А., Ерофеева Е.В. Современные и перспективные ионные источники для систем с фокусированным ионным пучком // Нано- и микросистемная техника, 2015. №11. С. 20-39.
Back to the list
