INME RAS
Institute of Nanotechnology of Microelectronics of the Russian Academy of Sciences 
Селективное травление меди в технологии анализа отказов ИМС с проводниками на основе меди
02.12.2013
Милованов Р.А., Кельм Е.А., Косичкин О.А, Ляпунов Н.А. Селективное травление меди в технологии анализа отказов ИМС с проводниками на основе меди // Журнал Нано- и микросистемная техника. 2013. №11(160). С. 30-32.
Back to the list
