INME RAS
Institute of Nanotechnology of Microelectronics of the Russian Academy of Sciences 
Технологический маршрут изготовления наноразмерных ячеек энергонезависимой памяти на фазовых переходах с применением двухлучевой установки NovaNanolab 600
01.12.2010
Ануфриев Ю.В., Зенова Е.В., Кондратьев П.К., Рачников Д.А. Технологический маршрут изготовления наноразмерных ячеек энергонезависимой памяти на фазовых переходах с применением двухлучевой установки NovaNanolab 600. // Нано- и микросистемная техника №11 (124), 2010.
Back to the list
