Структура

Институт включает в себя Административно управленческий аппарат (АУП) и научные подразделения.


В состав научных подразделений входят следующие отделы:


Отдел зондовых исследований (ОЗИ)

  • мониторинг особенностей физико-технологической реализации перспективной наноразмерной элементной базы микро-электронных устройств (нанотранзисторы, оптоэлектронные транзисторы, наносенсоры и т.д.);
  • разработка новых технологических процессов, методов анализа и диагностики микро- и наноэлектронных изделий на основе комплексного использования зондовых методов (РЭМ, РИМ, ИКМ, ДУФМ, АСМ) исследований;

Физико-технологический отдел (ФТО)

  • мониторинг особенностей физико-технологической реализации перспективной наноразмерной элементной базы микроэлектронных устройств (нанотранзисторы, оптоэлектронные транзисторы, наносенсоры и т.д.);
  • разработка новых технологических процессов, методов анализа и диагностики микро и наноэлектронных изделий;
  • создание современной производственной базы для научно-исследовательской деятельности;

Отдел аналитических исследований (ОАИ)

  • разработка и создание методов и средств контрольно-диагностической аппаратуры, используемой при создании и исследовании нанотехнологической элементной базы устройств микроэлектроники;
  • организация и проведение исследований фундаментальных и прикладных проблем в области методов аналитического анализа принципов построения и диагностики современных и перспективных изделий наноэлектроники;
  • создание современной производственной базы для научно-исследовательской деятельности;

Отдел разработок и исследований микро- и наносистем (ОРИМНС)

  • Мониторинг мировых достижений в области микро и нанотехнологий;
  • Научное обоснование реализации перспективной наноразмерной элементной базы микроэлектронных устройств (нанотранзисторы, оптоэлектронные транзисторы, наносенсоры и т.д.);
  • Научное обоснование и определение создания микроэлектронных приборов и устройств для приема, записи, хранения и обработки информации на основе использования тонких односвязанных и многосвязанных сверхпроводящих пленок;
  • Исследование роли и применений дисперсионных сил в нанотехнологии.

Отдел структурного анализа (ОСА)

  • изучение руководящих документов, определяющих направления развития методов структурного анализа, перспективы его развития, стандарты, технические условия и другие нормативные документы, необходимые для исследований структуры материалов;
  • разработка новых технологических процессов, методов анализа и диагностики микро и наноструктурированных материалов на основе комплек-сного использования методов микроскопии (РЭМ, РИМ, ИКМ, ДУФМ, АСМ);