Наши возможности

Для размещения Института предполагается создать единый научно-технологический комплекс помещений. Институту предоставлен участок земли по адресу Нагатинская улица, дом 16а. Правительством РФ выделены средства с целью коренной реконструкции имеющихся помещений и строительства новых, на оснащение Института исследовательским оборудованием и приборами. В настоящее время осуществляется проектирование зданий комплекса, который по своим технологическим возможностям, аппаратурному оборудованию будет соответствовать самому современному мировому уровню. Завершение работ и полное оснащение комплекса предполагается закончить в 2013 году.


До введения в действие собственной экспериментальной базы ИНМЭ РАН проводит исследования на базе лабораторий, которые организованы по договорам о сотрудничестве с физфаком МГУ-ЗАО "НПО Серния", МИЭТ и МИРЭА. Предполагается создание еще нескольких лабораторий с другими ведущими научными и образовательными организациями.


Лаборатории оснащены необходимым для проведения исследований оборудованием, в частности, имеется:

  • двухреакторная кластерная система вакуумно-плазменного травления (Cl, F процессы) структурообразующих слоев СБИС Plasmalab System 100 фирмы Oxford instr.;
  • установка ионной планаризации структурообразующих слоев кристаллов СБИС IM 150 фирмы Oxford applied research.;
  • растровый электронный микроскоп Raith 150;
  • многофункциональный инспекционный микроскоп UF диапазона INM 300 DUV фирмы Leica;
  • многофункциональный инспекционный микроскоп IR диапазона INM 100 IR фирмы Leica;
  • сканирующий электронный микроскоп с системой энергодисперсионного микроанализа (EDAX) Nova NanoSEM 230 фирмы FEI.;
  • комплекс оборудования для исследования технологии выращивания нанотрубок.

Отчет об итогах внеочередной оценки результативности деятельности ИНМЭ РАН

В связи с распоряжением ФАНО России от 25.04.2017 № 111 «О внеочередной оценке результативности деятельности научных организаций, подведомственных Федеральному агентству научных организаций» отчет можно посмотреть по следующей ссылке.