Применение электронно-лучевых методов для диагностики и контроля технологических особенностей современных СБИС


01.12.2016

А.М. Тагаченков, Ю.В. Ануфриев, А.В. Коновалов, В.Ю. Караулов. Применение электронно-лучевых методов для диагностики и контроля технологических особенностей современных СБИС// Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах (метрология, диагностика, технология, учебный процесс): Материалы докладов научно-методического семинара ( Москва, 26 ноября 2015 г.) М: МНТОРЭС им. А.С. Попова, НИУ «МЭИ» 2016. 154с. (с. 92-97)