Методика формирования изолированных тестовых структур на основе металлокомпозитов с углеродными нанотрубками без использования дамасского процесса


01.12.2016

«Методика формирования изолированных тестовых структур на основе металлокомпозитов с углеродными нанотрубками без использования дамасского процесса».

Кондратьев П.К., Павлов А.А., Милованов Р.А.,Скворцов А.А., Кицюк Е.П., Ануфриев Ю.В.

Сборник докладов 5-ой международной научно-технической Конференции «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике», ИНМЭ РАН, Москва, 13-15 апреля 2016 г.