Технологический маршрут изготовления наноразмерных ячеек энергонезависимой памяти на фазовых переходах с применением двухлучевой установки NovaNanolab 600

Ануфриев Ю.В., Зенова Е.В., Кондратьев П.К., Рачников Д.А.

Нано- и микросистемная техника №11 (124), 2010.