Яндекс.Метрика

Реактивно-ионное травление

  • Процессы плазмохимического изотропного и анизотропного селективного травления широкого спектра материалов микроэлектроники
  • Процессы плазменной очистки с минимальными поверхностными повреждениями 
  • Процессы травления фоторезиста в плазме