Яндекс.Метрика

Фотолитография

  • Процессы оптической (ИК) фотолитографии с разрешением не хуже 0,5 мкм
  • Процессы электронной литографии с разрешением не хуже 10 нм.



  • Процесс нанесения, задубливания и проявки фоторезистов


  • Процесс многослойного нанесения фоторезита для толстых маскирующих слоев.