ИНМЭ РАН

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук

Исследования и разработки

ФТО

Физико-технологический отдел

Нанотехнологии

Исследование и развитие новых технологических процессов нанотехнологий и перспективных материалов наноэлектроники
Аналитические исследования

Описание

Гетерогенная интеграция

Исследования в области интеграции маршрутов и технологий создания элементов МЭМС/НЭМС, новейших наноструктурированных материалов и СБИС