ИНМЭ РАН

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук

Нанотехнологии

Исследование и развитие новых технологических процессов нанотехнологий и перспективных материалов наноэлектроники