Использование тонкой пленки сплава Co15Ti40N35 для каталитического роста углеродных нанотрубок методом CVD


01.12.2016

Громов Д.Г., Дубков С.В., Павлов А.А., Скорик С.Н., Трифонов А.Ю., Шулятьев А.С., Шаман Ю.П., Рыгалин Б.Н. // Использование тонкой пленки сплава Co15Ti40N35 для каталитического роста углеродных нанотрубок методом CVD // МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, Том 45, №2, 2016 – С. 105-111. (DOI: 10.7868/S0544126916020058)