Применение атомно-силовой микроскопии для исследования поверхности фоторезисторов на основе PbS


03.12.2012

И.Н.Мирошникова, Х.С.Мохамед, Е.В.Зенова, А.М.Тагаченков, и др. Применение атомно-силовой микроскопии для исследования поверхности фоторезисторов на основе PbS//Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах (метрология, диагностика, технология, учебный процесс): Материалы докладов научно-методического семинара (Москва 28-30 11. 2011 г.) М: МНТОРЭС им. А.С. Попова, НИУ «МЭИ», 2012.- 229с., стр. 140-146.  


Возврат к списку