ИНМЭ РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
Об институте
Исследования и разработки
Установка КУТГИ
Национальные проекты
Новости
Противодействие коррупции
Контакты
На главную
Об институте
Публикации
Об институте
Руководство
Учёный совет
Публикации
Нормативные документы
Современные и перспективные ионные источники для систем с фокусированным ионным пучком
01.12.2015
Милованов Р.А., Ерофеева Е.В.
Нано- и микросистемная техника, 2015. №11. С. 20-39.
Возврат к списку