ИНМЭ РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение наукиИнститут нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
Ионно-лучевое травление как промежуточная стадия при удалении пассивирующих слоев микросхем в рамках технологии анализа отказов
02.12.2013
Абдуллаев Д.А., Зайцев А.А., Кельм Е.А., Милованов Р.А. Ионно-лучевое травление как промежуточная стадия при удалении пассивирующих слоев микросхем в рамках технологии анализа отказов // Нано- и микросистемная техника. 2013. №11(160). С. 35-39.
Возврат к списку
