Выставочная деятельность

Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН принял участие на выставке CeBIT

Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН принял участие на выставке CeBIT


10.03.2011

Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН принял участие на выставке CeBIT, которая проходила в г. Ганновер (Германия) с 1 по 5 марта 2011 г.

Доклады "Реконструкция и ремонт кристаллов сбис выполненных по микронной и субмикронной технологии" и "Исследование поверхностных явлений сбис методом сканирующей зондовой микроскопии" были представлены на общем стенде МИНОБРНАУКи.

В первой работе показана методика восстановления работоспособности интегральных схем с использованием остросфокусированной ионной микроскопии с применением различных газовых инжекторов.

Вторая работа направлена на разработку неразрушающих методов сверхлокального контроля электрического потенциала функциональных областей микросхем через изолирующие диэлектрические слои, основанных на проведении измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа с пространственным разрешением до 10 нм.